真空爐是在真空環境中進行加熱的設備，一般由爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空系統、供電系統和控溫系統等組成。真空爐按加熱元件分為真空電阻爐、真空感應爐、真空電弧爐、真空自耗電弧爐、電子束爐和等離子爐等。真空爐一般在春秋季節泄漏故障較多，長期閑置的真空爐在才次使用時真空爐泄漏故障比較易發生。這時間就必須進行真空檢漏，真空檢漏一般采取每月一次測壓升率(在常溫下，關閉所有真空閥，停止真空系統運轉，1Omin后讀一個數，1h后再讀一個數，兩數之差是壓升率的數值)，掌握設備泄漏變化趨勢，如真空設備連續停機一個禮拜，要空運轉一次（進行烘爐）。
真空爐的使用注意事項包括：1、工件--工件車須經清洗干燥后方克進入爐內，防止水份、污物進入爐內。2、各傳動件發現卡位，限位不準，控制失靈等現象時，應立即排除，不要強操作，以免損壞機件。
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